- - 評価製品：プローブカード検査板
- - 製品メーカー：東京エレクトロンＴＳ株式会社
- - 評価品仕様：ロジウムナノめっき膜 1.5μm（膜厚）
- - 評価会社：東京エレクトロンＴＳ株式会社/装置設計グループ
ロジウムナノめっき膜硬度（コンタクト耐性）及び抵抗測定を行い初期評価とする
【項目一覧】
- - コンタクト評価：ウエハプローバ内にて15,000回のコンタクト評価を実施
- - 表面抵抗測定：低抵抗計にてめっき表面の抵抗値を測定
- - 接触抵抗測定：低抵抗計にて接触抵抗値を測定
上図は15,000回のコンタクト評価において、プローブ側の金属粉がコンタクト部（めっき表面部）に付着した状態の画像です（コンタクト部＝黒色部）。
レーザー深度計にて段差測定も実施し、4μmの程度の凹みを確認しましたが、めっき剥がれや割れもなく密着性も良好であることが確認できました。
測定部位 |
抵抗値 |
|---|---|
左メッキ部 |
23.4uΩAVG |
右メッキ部 |
23.4uΩAVG |
母材部 |
20.0uΩAVG |
※各5回測定し平均値を記載
測定回数 |
接触抵抗値 |
|---|---|
1 |
1.98mΩ |
2 |
1.98mΩ |
3 |
1.98mΩ |
4 |
2.00mΩ |
5 |
2.00mΩ |
6 |
1.98mΩ |
7 |
2.00mΩ |
8 |
1.99mΩ |
9 |
2.00mΩ |
10 |
2.00mΩ |
平均 |
1.99mΩ |
シグマ |
0.01mΩ |
今回評価したロジウムカーボンナノチューブめっき膜は、東京エレクトロンＴＳ㈱が要求するめっき仕様を満たすことのできる数少ないめっき膜です。
さらに、めっき膜厚が1.5μm程であることから、膜厚を2.0μmまで厚くすることで格段に耐久性が得られると判断できます。
結果、電気接触抵抗が大変低く安定した高耐久性を有する、従来にない総合的に高性能なめっき膜であります。
めっき粒子内でCNTネットワークが構築されており、従来の金属めっきでは考えられない ポテンシャルが得られました。
高周波リレー接点材、ＲＦ-ＭＥＭＳ接点、他
RhCNT分散液を電解めっき方式により、ウェハ上にCNTを含むRh粒子が超微細にめっきされています。
材質 |
Siウェハ |
|---|---|
下地 |
スパッタリング Cr/Au |
RhCNT膜厚 |
2.0μm～3.0μm |
表面硬度 |
HV850以上 |
電気抵抗率 |
3.0×10-6 Ω/cm |
※Rhのバルク抵抗率を格段に上回る性能を発揮しています。
Auの持つ金属安定性と低抵抗を損なうことなく、表面硬度を30%以上硬くしています。
材質 |
Siウェハ |
|---|---|
下地 |
Niめっき |
AuCNT膜厚 |
2.0μm～3.0μm |
表面硬度 |
HV220 |
電気抵抗率 |
2.1×10-6 Ω/cm |
※従来の金接点が持つ必要条件（耐久性・安定性等）をはるかに越えた性能を有します。
コンタクトプローブのプランジャーに下地として金めっきを施しロジウムカーボンナノチューブ入りめっきを行いました。
■ 仕様・材質＝工具類（0.35mm×1.6mm）
・金めっきの膜圧 0.5μm
・ロジウムナノチューブめっきの膜圧 0.5μm
上記のように、通常品のめっきに比べ、耐荷重が強く接触面が安定しているという結果がわかりました。
接触抵抗及荷重の変化から、通常のロジウムめっきより接触抵抗が低減され、荷重試験から表面強度も強くなり、製品としての信頼性が高いといえます。
また、プランジャーだけでなく、スプリング及びバレルに同様のロジウムナノめっきを施すことにより、より耐久性や精度の高い高品質なコンタクトプローブになります。今後、ますます微細化に対応する技術として、また機能性めっき技術として需要が増大します。
炭素原子で構成されているグラフェンを継ぎ目無く丸めた構造をしており、金属と非金属の半導体特性を持ちます。
あらゆる用途に対応できるカーボンナノ材料を使用した製品提案。自社開発のめっき装置を活用しニーズにマッチした製品提案が可能です。
